問題詳情

8. 下列有關「半導體」製程之敘述,何者正確?
(A)乾式蝕刻比濕式蝕刻容易造成二氧化矽的過切問題
(B)蝕刻是將晶圓上未受光阻保護之氧化膜移除
(C)矽是半導體,如果摻雜硼或磷之後,就會變成導體
(D)微影製程通常是不需要經過光罩曝光就可以完成

參考答案

用户評論

110機械已上榜】評論

A)濕式蝕刻更容易過切C)矽半導體掺雜硼(...

紫閃】評論

乾式蝕刻(氣體):透過電漿的解離,形成離...