問題詳情
37.批次生產比較管制(Run-to-run control, R2R)的基本概念是透過於前製程的量測值或是製程後的量測值，微調該製程的處方(Recipe)的某個或某幾個參數設定值，下列描述何者有誤？
(A)所謂 Feedback control 是透過比對量測值與目標值的差異，透過某種演算法計算之後，回頭修改或補償下一批或下下一批的處方(Recipe)參數設定值；
(B)解決過程中因缺乏線上測量手段而造成難以進行實時過程式控制的問題，從而降低批次產品的質量差異；
(C)所謂 Feed forward control，主要為了補償前製程的變異，透過前製程的量測值，經由 Model 換算成 Recipe 的設定值，即時修正這批加工物件的 Recipe參數設定值，以補償前製程變異所造成的影響；
(D)就是一種純粹的統計製程管制(SPC)
參考答案
答案：D
難度：計算中-1
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