問題詳情

20. 下列關於光阻劑之敘述，何者正確？
(A) 是一種藉改變溶劑，使其溶解度發生變化的耐蝕刻薄膜材料
(B) 正型光阻劑曝光部分會溶於顯影液，未曝光部分則不溶於顯影液
(C) 一般而言，負型光阻劑之解析度優於正型光阻劑
(D) 光阻劑之溶解程度與溶劑浸泡時間及照射光線種類有關

參考答案

答案：B
難度：適中0.5
統計：A(0),B(0),C(0),D(0),E(0)