問題詳情

八、在積體電路製造技術中,採用的絕緣技術有局部氧化(Local Oxidation of Silicon,LOCOS)和淺溝槽絕緣(Shallow Trench Isolation, STI),請分別說明局部氧化與淺溝槽絕緣的製作技術、缺點與應用在那一種線寬製程?(20 分)

參考答案

答案:B
難度:適中0.6736
統計:A(0),B(421),C(41),D(163),E(0)