【評論主題】26 關於超大型積體電路的製造流程中，用以製作有形電路與導線的製程順序，下列何者正確？(A)薄膜製作→微影→蝕刻→摻雜 (B)微影→薄膜製作→摻雜→蝕刻(C)蝕刻→摻雜→微影→薄膜製作 (D)摻雜→蝕
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C或D