問題詳情

四、矽甲烷（SiH4）、磷化氫（PH3）、砷化氫（AsH3）為半導體光電產業常使用的特殊氣體，說明上述三種特殊氣體的危害性？半導體光電產業中的那一個產業（半導體、面板業(TFT-LCD)、發光二極體(LED)、太陽能電池）沒有使用到砷化氫？相對於矽甲烷的使用量，半導體光電產業中的那一個產業砷化氫、磷化氫的使用量較高？（25 分）

參考答案

答案：A
難度：非常簡單0.90625
統計：A(29),B(2),C(0),D(0),E(0)