【yi】評論
(美國)Class 100清淨室:指每立方英尺(ft3)空間中所含質粒0.5µm以上者,不超過100粒。(歐盟)Class A清淨室:指每立方公尺(m3)空間中所含質粒0.5µm以上者,不超過3500粒。
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