問題詳情

【題組】⑵以熱氧化法成長的二氧化矽(SiO2)薄膜,起初成長的二氧化矽薄膜厚度與時間成線性關係,隨著時間增長,二氧化矽薄膜厚度與時間的開根號成正比。請說明這兩者的物理機制,這兩種機制分界處的二氧化矽薄膜厚度約為多少?(10 分)

參考答案