問題詳情

56.下列有關化學氣相蒸鍍法(CVD)之敘述何者有誤？
(A)析鍍的機制為化學反應
(B)析鍍物為原子
(C)複雜形狀的搬鐘(throwing power)能力差
(D)—般製程其基材要加熱

參考答案

答案：C
難度：適中0.5
統計：A(0),B(0),C(0),D(0),E(0)