問題詳情

四、
【題組】⑴對波長為 193 nm 的準分子雷射光學系統而言,若其具有數值孔徑 NA = 0.65,製程相依因子 k1 = 0.6 及 k2 = 0.5,以此光學系統作為曝光機台的理論解析度及聚焦深度各為多少值?(10 分)

參考答案

答案:D
難度:非常簡單0.936814
統計:A(47),B(130),C(151),D(4863),E(0) #
個人:尚未作答書單:第一章 行政的概念與種類、私經濟行政